靶材在真空鍍膜中的應用


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          • 詞條

            詞條說明

          • 靶材的制作方法、分類及應用

            現階段靶材的制取關鍵有鑄造法和粉未冶金法。鑄造法:將一定成份配制的合金原材料熔煉,再將合金飽和溶液澆筑于模貝中,產生澆鑄,最終經機械加工制造做成靶材,鑄造法在真空泵中熔煉、鑄造。常見的熔煉方式 有真空泵磁感應熔煉、真空泵電孤熔煉和真空電子負電子熔煉等,其特點是靶材殘渣含量(尤其是汽體殘渣含量)低,相對密度高,可進口替代;缺陷是對溶點和相對密度相距過大的二種或兩種以上金屬材料,一般熔煉法難以獲得成份

          • 鈀靶材廠家帶你了解靶材

            鈀靶材廠家帶你了解靶材什么是靶材?靶材是制備薄膜的主要材料之一,比如鍍膜靶材,通過磁控濺射,在適當的工藝條件下,濺射在基體上形成各種所需功能薄膜的濺射源。當然還有其它鍍膜工藝,比如真空離子鍍膜、蒸發鍍膜等等電鍍工藝。根據所需求工藝應用的不同,對靶材的種類選擇也不同。所以說得簡單一點,靶材就是真空電鍍材料爐里的靶,你也可以簡單理解為電鍍材料的一種。靶材就材質分類而言分為三大類:1. 金屬靶材 2.陶

          • 釕靶材廠家淺談常見的靶材

            釕靶材廠家淺談常見的靶材我們都了解靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料。濺射靶材主要應用于電子及信息產業,如集成電路、信息存儲、液晶顯示屏、激光存儲器、電子控制器件等;亦可應用于玻璃鍍膜領域;還可以應用于耐磨材料、高溫耐蝕、高檔裝飾用品等行業。靶材種類比較多,有金屬類、合金類、氧化物類等等,用的行業也有所不同,應用很廣泛。那么常見的金屬靶材有哪些?濺射靶材是否希缺資源?下面我們一起了解一下。一、常見

          • 靶材用在什么設備

            做金屬材料的靶材,必須真空熔化爐,或是真空燒結爐或氡氣氛圍燒結爐開展制坯;隨后有可能必須鍛錘和軋機開展工作壓力成型生產加工;然后必須真空退火爐開展靶材熱處理工藝;隨后必須超聲波無損檢測設備開展檢驗;必須電鏡、ICP、激光粒度儀、費氏粒度儀、金相顯微鏡以及制樣機器設備等開展有機化學有效成分剖析、金相檢驗、粉末狀粒度分布乃至晶體缺陷剖析。隨后還必須各種車銑數控磨床開展機械加工;最終還必須關聯機器設備和

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