等離子清洗機用于晶圓處理

時間：2022-04-12

作者：煙臺金鷹科技有限公司

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詞條
詞條說明
等離子清洗機增加表面能和潤濕性，提高粘合強度
等離子清洗機使處理的材料表面產生相應的物理變化和化學變化。把互不相容的原材料相互粘合，或提高材料表面的高..性能附著力，或去除了材料表面靜電，從而實現環保的制造工藝。等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統等。等離子處理機廣泛應用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等
等離子活化機，等離子清洗機的詳細應用領域
? 等離子活化機,等離子清洗機技術幾乎適用各種領域的工業應用,能為不同材料或者復合材料提供后續的粘接,涂裝,印刷前處理,使兩種不同材料有效而又可靠的結合在一起. 等離子表面處理技術可以和多種不同的后續加工工藝相配合，其中最為典型的后續加工包括印刷，粘接，涂裝。等離子技術幾乎適用各種領域的工業應用，能為不同材料或者復合材料提供后續的粘接，涂裝，印刷前處理，使兩種不同材料有效而又可靠的結合
等離子清洗機設備在集成電路和MEMS行業的應用
????在集成電路或MEMS微納米加工前道工序中，晶圓表面會涂上光刻膠，然后光刻，顯影，但光刻膠只是圖形轉化的媒介，當光刻后在光刻膠上形成微納米圖形后，需要進行下一步的生長或刻蝕的工藝，之后需要用某種方法把光刻膠去除。等離子體去膠機可實現此功能。它用射頻或微波方式產生等離子體，同時通入氧氣或其他氣體，等離子體與光刻膠進行反應，形成氣體被真空泵抽走等離子清
等離子清洗機處理OLED顯示器件
OLED顯示器件等離子清洗機應用，在封裝過程中，器件和材料表面的各種沾污會明顯的影響封裝生產及產品質量，而等離子清洗能夠很容易地去除掉生產過程中形成的這些分子水平的污染，從而顯著地提高封裝的可靠性以及產品成品率。等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統等。等離子處理機廣泛應用于等離子清洗、等離子刻