用于半導體加工的超精密XY真空平臺。


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            掃描電子/聚焦離子束顯微鏡(SEM/FIB)-由Nanomotion設計和制造的X/Y/Theta/Z平臺。在清潔、真空環境中工作,具有納米級的定位穩定性。

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