用于半導(dǎo)體加工的超精密XY真空平臺(tái)。


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          • 詞條

            詞條說(shuō)明

          • 光柵尺工作原理

            ? ?光柵尺,也稱為光柵尺位移傳感器或光柵尺傳感器,是通過(guò)利用光柵的光學(xué)原理工作的測(cè)量反饋裝置。光柵尺經(jīng)常應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中,可用作直線位移或者角位移的檢測(cè)。其測(cè)量輸出的信號(hào)為數(shù)字脈沖,具有檢測(cè)范圍大,檢測(cè)精度高,響應(yīng)速度快的特點(diǎn)。例如,在數(shù)控機(jī)床中常用于對(duì)刀具和工件的坐標(biāo)進(jìn)行檢測(cè),來(lái)觀察和跟蹤走刀誤差,以起到一個(gè)補(bǔ)償?shù)毒叩倪\(yùn)動(dòng)誤差的作用。光柵尺工作原理以透射光柵為

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          • GIVI光柵尺在磨床設(shè)備使用

            光柵尺在磨床設(shè)備使用紹興上虞大金湖精密機(jī)床有限公司一、內(nèi)圓磨床的光柵尺的使用CNC小型化內(nèi)圓磨床X、Z軸采用線性伺服馬達(dá),能符合客戶高速研磨需求并縮短加工時(shí)間,兩軸也配置光學(xué)尺,以實(shí)現(xiàn)高速精密研磨效率。CNC數(shù)控內(nèi)圓磨床-----進(jìn)刀軸搭配光學(xué)尺模組(X軸),提高加工定位精度二、外圓磨床的光柵尺的使用1)數(shù)控外圓磨床????? ?X軸配置

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