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詞條說明
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
普旭真空泵安裝?????(1)真空泵應(yīng)安裝在干燥、通風(fēng)良好和清潔的場(chǎng)所。?????(2)真空泵的環(huán)境溫度為5-40℃。?????(3)真空泵應(yīng)水平安裝,其周圍應(yīng)留有充分的余地,便于日常檢查、維護(hù)保養(yǎng)。裝拆方便。???&n
【工業(yè)真空泵廠家】真空泵的總體結(jié)構(gòu)式
真空泵的總體結(jié)構(gòu)式:真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu):?1、立式結(jié)構(gòu):進(jìn)、排氣口水平設(shè)置,裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高,在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性差,故這種型式多用于小泵;?2、?臥式結(jié)構(gòu):泵的進(jìn)氣口在上,排氣口在下。有時(shí)為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便,可將排氣口從水平方向接出,即進(jìn)、排氣方向是相互垂直的。此時(shí),排氣口可以從左或右兩個(gè)方向開口,除接排氣管道一
真空泵的操作1、開機(jī)前的檢查檢查油位是否在MAX-MIN之間,潤(rùn)滑油不可太多,亦或太少,不足時(shí)應(yīng)補(bǔ)充。禁止混用不同牌號(hào)的潤(rùn)滑油,補(bǔ)充潤(rùn)滑油時(shí),應(yīng)確定系統(tǒng)內(nèi)已經(jīng)沒有壓力時(shí),方可打開加油塞。接上電源線及接地線,測(cè)試電壓是否準(zhǔn)確,電源是否無誤。?2、試車、開機(jī)與停機(jī)試車1.關(guān)閉進(jìn)氣口。2.點(diǎn)動(dòng)電機(jī)檢查真空泵的旋轉(zhuǎn)方向,如旋轉(zhuǎn)方向不對(duì),則對(duì)調(diào)三相電源中的任意兩相。開機(jī)1.打開進(jìn)氣口。2.合上電源
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