詞條
詞條說明
單級(jí)旋片式真空泵-適用范圍1、XD型單級(jí)旋片式真空泵適用于密閉系統(tǒng)的抽真空使用。如真空包裝、真空成形、真空吸引。2、入口壓力范圍:100Pa~100000Pa,出此范圍工作真空泵排氣口將有油霧產(chǎn)生。XD型旋片式真空泵工作環(huán)境溫度和吸入氣體溫度應(yīng)在5℃~40℃之間。3、XD型旋片式真空泵不能抽除水或其它液體。不能抽除易爆、易燃、含氧量過高的、腐蝕性的氣體。4、一般供應(yīng)的電動(dòng)機(jī)不防爆,如要求防爆或其它
XD型單級(jí)旋片式真空泵的優(yōu)點(diǎn)1、**強(qiáng)的排除水蒸氣的能力。2、出口油霧過濾器為標(biāo)準(zhǔn)配置,真空泵油循環(huán)使用,無油煙,清潔、環(huán)保、省油。3、可以在進(jìn)口壓力為大氣壓的情況下連續(xù)工作。4、在低壓強(qiáng)下仍能保持高的抽速。5、內(nèi)置自動(dòng)防返油閥。6、SV630以下為風(fēng)冷,不需要水冷,經(jīng)濟(jì)方便。7、低噪音,低振動(dòng)。8、結(jié)構(gòu)緊湊,體型小,節(jié)省空間。9、可以與各種附件配套使用,因而可以滿足各種不同應(yīng)用的需要
【上海單級(jí)旋片式真空泵廠家】真空泵系統(tǒng)的基本要求
真空系統(tǒng)的基本要求是都有哪些?1、在被抽器件或工作室內(nèi)獲得所需的極限真空和工作真空度。極限真空度是指器件在無漏放氣時(shí)所達(dá)到的真空度,工作真空度是指在器件進(jìn)行真空處理時(shí)所能維持的真空度。真空處理時(shí)往往要放出大量氣體,這時(shí)的工作真空度將顯著地**極限真空度。極限真空度和工作真空度各有其重要性,它們從不同側(cè)面對器件質(zhì)量產(chǎn)生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統(tǒng)中,電10-2較除氣和陰極分解會(huì)大量出氣
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
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