詞條
詞條說(shuō)明
羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱(chēng)之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
普旭真空泵沒(méi)有吸力原因一:真空泵漏氣,密封件老化起不到密封效果。普諾克真空解決方法:泵拆解后清洗干凈,組裝更換密封套件。原因二:真空泵油乳化或變黑,油沒(méi)有潤(rùn)滑性。普諾克真空解決方法:1.打開(kāi)加油口、再打開(kāi)放油閥、泵內(nèi)的大部分泵油可以排出;然后關(guān)閉加油口放油閥。2.泵的吸氣口向大氣開(kāi)放,空轉(zhuǎn)5秒,缸體內(nèi)的剩余泵油*被排出。3.打開(kāi)加油口,再打開(kāi)放油閥,然后排出泵油。4.關(guān)閉放油閥,把*的新油按規(guī)
真空泵保養(yǎng)操作:維護(hù)時(shí)間表真空泵維護(hù)時(shí)間間隔根據(jù)每個(gè)客戶(hù)工作環(huán)境而定。您可以根據(jù)您的實(shí)際使用狀況,縮短維護(hù)時(shí)間間隔,尤其是灰塵大的工作環(huán)境。Ⅰ?每日需要維護(hù)事項(xiàng):檢查油位及油的顏色。Ⅱ?每星期需要維護(hù)事項(xiàng):檢查真空泵是否漏油。Ⅲ?每月需要維護(hù)事項(xiàng):檢查排氣過(guò)濾器的功能,必要時(shí)請(qǐng)清洗或換進(jìn)氣過(guò)濾器。Ⅳ?每6個(gè)月需要維護(hù)事項(xiàng):檢查真空泵泵腔是否有灰塵、污垢、積碳
【真空泵廠(chǎng)家】單級(jí)旋片式真空泵使用說(shuō)明
旋片式真空泵使用說(shuō)明:一.?首先在開(kāi)箱時(shí)要檢查您所采購(gòu)的旋片式真空泵在運(yùn)輸過(guò)程中是否有損壞、是否符合使用要求。如您發(fā)現(xiàn)有所不理解,請(qǐng)馬上致電我公司銷(xiāo)售工程師二.?您在使用安裝調(diào)試旋片式真空泵前,請(qǐng)您仔細(xì)詳閱使用說(shuō)明,嚴(yán)格按產(chǎn)品操作程序?qū)嵤⒁⒁庀葦Q開(kāi)加油螺塞從加油孔中加油至油標(biāo)2/3,后從進(jìn)氣管孔內(nèi)加入少許泵油為加強(qiáng)泵腔內(nèi)潤(rùn)滑。油位過(guò)低對(duì)排氣閥不能起封閉作用且影響真空度,過(guò)
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