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羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
旋片式真空泵使用說明:1、與泵聯接的管道不宜過長,且不宜小于泵的進氣口徑。2、被抽氣體溫度不得**40℃,否則應把氣體冷至常溫。3、含有較多塵埃的氣體則應加以過濾,有腐蝕性及油起化學反應之氣體則應加氣體吸收及綜合裝置,如含水蒸氣過多,則應加去濕裝置,以防止泵油弄臟,影響其真空性能及泵的使用壽命。4、泵云裝過程中油溫不能**70℃,在正常工作時應聽到“嗒、嗒、嗒”之排氣聲,如有異聲或溫度驟升時應停止
【普旭國產旋片真空泵保養】維護時間表真空泵維護時間間隔根據每個客戶工作環境而定。您可以根據您的實際使用狀況,縮短維護時間間隔,尤其是灰塵大的工作環境。每日需要維護事項:檢查油位及油的顏色。每星期需要維護事項:檢查真空泵是否漏油。每月需要維護事項:檢查排氣過濾器的功能,必要時請清洗或換進氣過濾器。每6個月需要維護事項:檢查真空泵泵腔是否有灰塵、污垢、積碳,必要時需清洗真空泵泵腔;清洗風扇引擎罩、風扇
普旭真空泵安裝(1)真空泵應安裝在干燥、通風良好和清潔的場所。(2)真空泵的環境溫度為5-40℃。(3)真空泵應水平安裝,其周圍應留有充分的余地,便于日常檢查、維護保養。裝拆方便。(4)接通電源后,電機轉向應符合泵上轉向箭頭所示。(5)連接被抽容器的管道應清潔。無雜質等異物,孔徑不應小于泵口口徑,長度宜短,以保證其有足夠的通導能力,管道連接應密封不漏。(6)被抽氣體應無顆粒狀固體進入泵腔。(7)真
公司名: 上海福豫機械設備有限公司
聯系人: 黃先生
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