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詞條說明
真空泵的總體結(jié)構(gòu)式:真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu):?1、立式結(jié)構(gòu):進(jìn)、排氣口水平設(shè)置,裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高,在高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性差,故這種型式多用于小泵;?2、?臥式結(jié)構(gòu):泵的進(jìn)氣口在上,排氣口在下。有時為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便,可將排氣口從水平方向接出,即進(jìn)、排氣方向是相互垂直的。此時,排氣口可以從左或右兩個方向開口,除接排氣管道一
日常維護(hù)1、定期做保養(yǎng)時,將散熱油管及其它油路管拆卸下來進(jìn)行清洗和疏通。2、當(dāng)真空泵積碳嚴(yán)重時,必須進(jìn)行大的維護(hù)保養(yǎng)工作,必要時需換油路管。因為,當(dāng)真空泵積碳后,不知道油管內(nèi)壁會有多厚的積碳。3、定期檢查油管是否漏油、穿孔等情況。如有發(fā)生,及時處理。4、散熱油管外表有一層散熱鰭片,該功能在風(fēng)冷的情況下能好的降低真空泵溫度,達(dá)到穩(wěn)定的真空度。故而在搬運、使用時小心對待。5、由于該產(chǎn)品采用鋁質(zhì)材質(zhì),質(zhì)
羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
普旭真空泵安裝?????(1)真空泵應(yīng)安裝在干燥、通風(fēng)良好和清潔的場所。?????(2)真空泵的環(huán)境溫度為5-40℃。?????(3)真空泵應(yīng)水平安裝,其周圍應(yīng)留有充分的余地,便于日常檢查、維護(hù)保養(yǎng)。裝拆方便。???&n
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