詞條
詞條說(shuō)明
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱(chēng)之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
【國(guó)產(chǎn)真空泵】使用真空泵的注意事項(xiàng)
使用真空泵的注意事項(xiàng)1.?正常運(yùn)傳前,真空泵應(yīng)先做一次試運(yùn)轉(zhuǎn),檢查真空泵有無(wú)異常振動(dòng)及沖擊聲響。初次使用的真空泵還要測(cè)定真空泵的極限壓強(qiáng),應(yīng)符合技術(shù)規(guī)范。真空泵在*工作的條件下,真空泵溫不應(yīng)**過(guò)70度。至于抽速的測(cè)定.由于比較復(fù)雜,一般不作檢查。2.?需要通冷卻水的機(jī)械真空泵.在開(kāi)機(jī)前應(yīng)先通冷卻水,然后再啟動(dòng)。冷卻水的出口水溫不宜**過(guò)30度。3.?*安裝真空泵時(shí),應(yīng)檢
真空泵不能啟動(dòng):主要表現(xiàn)為真空泵加電后不能啟動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)。這時(shí)應(yīng)首先檢查真空泵的電路部分,如保險(xiǎn)管是否燒毀、電路部分有沒(méi)有元?dú)饧龎摹T谂懦娐凡糠值墓收虾螅瑧?yīng)考慮以下兩個(gè)因素:?1、電機(jī)燒壞:主要為電機(jī)定子線(xiàn)圈燒毀,引起原因較多,如瞬間電流過(guò)大,電機(jī)軸承使用久了被磨損,致使軸承摩擦阻力變大,電機(jī)功率加大,引起溫度上升,燒毀電機(jī)。這時(shí)應(yīng)先檢查電機(jī)軸承,再檢查電機(jī)線(xiàn)圈。軸承損壞就換軸承;電機(jī)線(xiàn)圈
XD旋片式真空泵概述XD單級(jí)旋片式真空泵為單級(jí)聯(lián)軸式結(jié)構(gòu),它的工作性能是高轉(zhuǎn)速,低噪聲,抽速快,,泵只需空氣冷卻,有防返油結(jié)構(gòu),防止泵油返入被抽系統(tǒng),泵內(nèi)裝有排氣過(guò)濾器,有效消除油霧,運(yùn)轉(zhuǎn)平衡,振動(dòng)小,可以在任意壓強(qiáng)下工作。技術(shù)參數(shù)2×10-2,已普遍適用食品真空包裝,醫(yī)藥、印刷機(jī)械紙張輸送,玻璃工業(yè)輸送,真空夾具,干燥等單位的使用。.不能抽除易燃、易爆、含氧量高的、腐蝕性氣體。如連續(xù)長(zhǎng)時(shí)間在較高
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