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羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應
旋片式真空泵使用說明:一.?首先在開箱時要檢查您所采購的旋片式真空泵在運輸過程中是否有損壞、是否符合使用要求。如您發現有所不理解,請馬上致電我公司銷售工程師二.?您在使用安裝調試旋片式真空泵前,請您仔細詳閱使用說明,嚴格按產品操作程序實施,并要注意先擰開加油螺塞從加油孔中加油至油標2/3,后從進氣管孔內加入少許泵油為加強泵腔內潤滑。油位過低對排氣閥不能起封閉作用且影響真空度,過
單級旋片式真空泵的結構較簡單,使用方便,能從大氣壓力下起動,可直接排入大氣,偏心質量較小,維護簡便,雙級泵的極限壓力為6×10-2~1×10-2Pa,一種單級泵可達4Pa左右,另一種單級泵為50~200Pa左右。?旋片式真空泵是工業應用較廣泛的一種機型,由于進口真空泵的價格高昂,并且進口真空泵維修及保養費用也貴,廣東大路通引進了一系列**的技術與設備已生產出費用低,真空泵維修費用低的國產
XD旋片式真空泵概述XD單級旋片式真空泵為單級聯軸式結構,它的工作性能是高轉速,低噪聲,抽速快,效率高,泵只需空氣冷卻,有防返油結構,防止泵油返入被抽系統,泵內裝有排氣過濾器,有效消除油霧,運轉平衡,振動小,可以在任意壓強下工作。技術參數2×10-2,已普遍適用食品真空包裝,醫藥、印刷機械紙張輸送,玻璃工業輸送,真空夾具,干燥等單位的使用。.不能抽除易燃、易爆、含氧量高的、腐蝕性氣體。如連續長時間
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