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按性能特點和用途分類(1)低真空泵泵的極限壓力**102Pa的真空泵屬于低真空泵。常見的低真空泵有往復式真空泵、旋轉式真空泵、液環式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。(2)中真空泵極限壓力在102~-10-1Pa的真空泵屬于中真空泵。常見的有羅茨真空泵、多級噴射式真空泵、多級旋轉機械真空泵以及高速旋轉式機械真空泵等。(3)高真空泵極限壓力在10-1~10-5Pa的真空泵屬于高真空泵。常見的高真
如何使用讓旋片式真空泵較好的操作(1)使用旋片式真空泵前,按油標指示刻度加入真空泵油。旋轉三通閥,使泵的吸氣管與大氣相通,而與被抽空容器隔絕,打開排氣口。(2)用手轉動皮帶輪,檢查運轉情況,無異常情況后,再接通電源,注意轉動方向。(3)泵運轉正常后.緩慢旋轉三通閥,使泵的吸氣管與被抽空容器相通而與大氣隔絕。(4)停止使用泵時,欲保持真空系統有一定的真空度,應旋轉三通閥,使真空系統封閉,泵的吸氣管與
真空泵更換浮子閥1、回油浮球安裝在油箱內,泵頭處的回油管將連接與之相通的孔,將泵頭內多余的油收集到油箱內部。2、當回油浮球失去效果,則在油位較高時無法堵住油口,后果將會導致整個回油油路無法正常工作。從而間接導致真空泵泵體潤滑不夠,或泵體油分過多。3、為了保持油路的暢通和正常工作,以及獲得穩定的真空度、延長真空泵使用壽命的前提下,當大保養或維修時若回油浮球失去效果,請立即更換!浮子適用于普旭旋片式真
羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
公司名: 上海福豫機械設備有限公司
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