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真空系統的基本要求是都有哪些?1、在被抽器件或工作室內獲得所需的極限真空和工作真空度。極限真空度是指器件在無漏放氣時所達到的真空度,工作真空度是指在器件進行真空處理時所能維持的真空度。真空處理時往往要放出大量氣體,這時的工作真空度將顯著地**極限真空度。極限真空度和工作真空度各有其重要性,它們從不同側面對器件質量產生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統中,電10-2較除氣和陰極分解會大量出氣
真空泵的概述:XD系列真空泵是一款基本型的真空獲得設備,為單級壓縮腔,三片旋片結構,采用真空泵油作為工作液。XD系列真空泵主要用干低中真空范圍,用于抽除普通空氣或惰性氣體,也可抽除少量可凝性氣體,如水蒸氣等。泵的工作壓力為泵的極限壓力到大氣壓范圍內。XD系列產品因其堅固,耐用,可靠,經濟的優點已經在各行業領域得到了越來越多的應用。電機溫度高原因分析(1)電機功率大,工作電流大,發熱量大。(2)風扇
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應
真空泵的安裝1、安裝安裝場所寬闊、采光良好,空氣的相對濕度宜低,灰塵少,空氣清凈且通風良好。環境溫度:5—30攝氏度。環境壓力:大氣壓。預留保養空間,真空泵與墻之間至少須有1米以上距離,真空泵*空間距離應有1米以上,預留通道,以便維修保養。真空泵運作時,表面溫度可以達到72℃以上,小心燙傷。請確保真空泵的安放位置易于看見油位鏡。?2、配管、基礎主管路配管時,管路通徑不能小于真空泵的進氣
公司名: 上海福豫機械設備有限公司
聯系人: 黃先生
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地 址: 上海金山廊下鎮金廊公路41號10幢224室
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