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羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
真空泵不能啟動(dòng):主要表現(xiàn)為真空泵加電后不能啟動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)。這時(shí)應(yīng)首先檢查真空泵的電路部分,如保險(xiǎn)管是否燒毀、電路部分有沒有元?dú)饧龎?。在排除電路部分的故障后,?yīng)考慮以下兩個(gè)因素:?1、電機(jī)燒壞:主要為電機(jī)定子線圈燒毀,引起原因較多,如瞬間電流過大,電機(jī)軸承使用久了被磨損,致使軸承摩擦阻力變大,電機(jī)功率加大,引起溫度上升,燒毀電機(jī)。這時(shí)應(yīng)先檢查電機(jī)軸承,再檢查電機(jī)線圈。軸承損壞就換軸承;電機(jī)線圈
上海橡膠機(jī)械真空泵達(dá)不到規(guī)定的壓力產(chǎn)生原因:1.泵油中有可凝物或氣體;2.測(cè)量方法或儀器不正確;3.用錯(cuò)油或油被污染;4.油封滲漏;5.管路密封不嚴(yán)密;6.油箱內(nèi)油量不足;7.進(jìn)氣口濾網(wǎng)堵塞;8.進(jìn)氣管道過長(zhǎng)或過窄;9.葉片卡住或嚴(yán)重磨損;10.泵體磨損;11.“O”形圈變形老化;12.吸氣閥失效。解決方法:1.封閉進(jìn)氣口運(yùn)轉(zhuǎn)60分鐘;2.使用正確的測(cè)量方法或儀器;3.換規(guī)定的新油;4.調(diào)換油封;
【上海真空硫化機(jī)】常用真空泵及其型號(hào)如何選擇?
常用真空泵及其型號(hào)如何選擇?主要技術(shù)指標(biāo)有哪些?使用真空泵應(yīng)遵守哪些安全規(guī)定?答:真空泵的選擇,應(yīng)滿足下列要求:1.真空參數(shù)設(shè)計(jì)合理,真空度和抽速都能滿足生產(chǎn)的要求.宜選用低真空大抽吸的新型真空泵,泵的大真空度宜不大于90%,大抽速宜大于25i/s,2.機(jī)組工作時(shí),真空度穩(wěn)定,動(dòng)力消耗小,電動(dòng)機(jī)功率不**過4kW.3.具有良好的冷卻循環(huán)和密封裝置。4.配有脫水量自動(dòng)計(jì)從儀表.5.移動(dòng)靈活.維修簡(jiǎn)便,
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