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羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應
真空泵維護與保養:1.泵及其四周環境應經常保持清潔,防止雜物進入泵內。?2.泵的運轉過程中,油箱內的存油量不得**油標中心。?3.不同種類和牌號的真空泵油,不可混合使用。?4.泵在使用中,因系統損壞等特殊事故,進氣口突然暴露大氣時,應盡快停泵,并切斷與系統連接的管道,防止噴油、污染場地。?5.泵由于存放或使用不當,水份或其它揮發性物質進入泵內而影響極限真空時
旋片式真空泵工作原理旋片式真空泵的兩個旋片把轉子、泵腔和兩個端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分,當轉子按箭頭方向旋轉時,與吸氣口相通的空間A的容積是逐漸增大的,正處于吸氣過程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的,正處于排氣過程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的,正處于壓縮過程。由于空間A的容積是逐漸增大,氣體壓強降低,泵的入口處外部氣體壓強大于空間A內的壓強,因此將氣體吸入。當空間
滑閥泵排氣過濾器的安裝過程如下:1.?先在總成上面安裝過濾器壓力表,壓力表可以實時監控真空泵的壓力,同時也可以通過數據知道什么時候應該換濾芯了。2.?壓力表安裝完成后就到了貼標簽的環節,也是一個小小的說明書以及溫馨提醒哦,用戶在使用**定要認真閱讀。3.?第三步就是安裝初效濾芯啦,初效濾芯捕捉油霧大顆粒,將小顆粒留給高效濾芯,延長高效的壽命。4.?初濾芯安裝
公司名: 上海福豫機械設備有限公司
聯系人: 黃先生
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地 址: 上海金山廊下鎮金廊公路41號10幢224室
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