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羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應
旋片式真空泵工作原理旋片式真空泵的兩個旋片把轉子、泵腔和兩個端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分,當轉子按箭頭方向旋轉時,與吸氣口相通的空間A的容積是逐漸增大的,正處于吸氣過程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的,正處于排氣過程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的,正處于壓縮過程。由于空間A的容積是逐漸增大,氣體壓強降低,泵的入口處外部氣體壓強大于空間A內的壓強,因此將氣體吸入。當空間
旋片式真空泵的介紹旋片真空泵是以泵為主泵,以旋片真空泵為前級泵的串聯而成的。旋片真空泵選用的旋片泵作為前級泵,因此它克服了旋片真空泵在使用時一定壓力下的抽氣速率低的缺點,并且同時保留了羅茨泵能迅速的工作,優點有比較大抽氣速率等。因為旋片真空泵的結構緊湊、占地面積小,所以可以替代多臺機械式真空泵,因此旋片真空泵機組廣泛地用于在真空冶煉、電力電容器、變壓器真空熱處理、真空鍍膜設備的預抽,電真空半導體等
XD型單級旋片式真空泵的優點1、強的排除水蒸氣的能力。2、出口油霧過濾器為標準配置,真空泵油循環使用,無油煙,清潔、環保、省油。3、可以在進口壓力為大氣壓的情況下連續工作。4、在低壓強下仍能保持高的抽速。5、內置自動防返油閥。6、SV630以下為風冷,不需要水冷,經濟方便。7、低噪音,低振動。8、結構緊湊,體型小,節省空間。9、可以與各種附件配套使用,因而可以滿足各種不同應用的需要
公司名: 上海福豫機械設備有限公司
聯系人: 黃先生
電 話: 17502155678
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微 信: 17502155678
地 址: 上海金山廊下鎮金廊公路41號10幢224室
郵 編:
網 址: ocsmqh.b2b168.com
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