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詞條說明
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
旋片式真空泵使用說明:1、與泵聯(lián)接的管道不宜過長,且不宜小于泵的進氣口徑。2、被抽氣體溫度不得**40℃,否則應(yīng)把氣體冷至常溫。3、含有較多塵埃的氣體則應(yīng)加以過濾,有腐蝕性及油起化學(xué)反應(yīng)之氣體則應(yīng)加氣體吸收及綜合裝置,如含水蒸氣過多,則應(yīng)加去濕裝置,以防止泵油弄臟,影響其真空性能及泵的使用壽命。4、泵云裝過程中油溫不能**70℃,在正常工作時應(yīng)聽到“嗒、嗒、嗒”之排氣聲,如有異聲或溫度驟升時應(yīng)停止
單級旋片式真空泵-適用范圍1、XD型單級旋片式真空泵適用于密閉系統(tǒng)的抽真空使用。如真空包裝、真空成形、真空吸引。2、入口壓力范圍:100Pa~100000Pa,**出此范圍工作真空泵排氣口將有油霧產(chǎn)生。XD型旋片式真空泵工作環(huán)境溫度和吸入氣體溫度應(yīng)在5℃~40℃之間。3、XD型旋片式真空泵不能抽除水或其它液體。不能抽除易爆、易燃、含氧量過高的、腐蝕性的氣體。3、真空泵葉片碎裂不會產(chǎn)生真空,需更換葉片
真空泵的操作1、開機前的檢查檢查油位是否在MAX-MIN之間,潤滑油不可太多,亦或太少,不足時應(yīng)補充。禁止混用不同牌號的潤滑油,補充潤滑油時,應(yīng)確定系統(tǒng)內(nèi)已經(jīng)沒有壓力時,方可打開加油塞。接上電源線及接地線,測試電壓是否準(zhǔn)確,電源是否無誤。?2、試車、開機與停機試車1.關(guān)閉進氣口。2.點動電機檢查真空泵的旋轉(zhuǎn)方向,如旋轉(zhuǎn)方向不對,則對調(diào)三相電源中的任意兩相。開機1.打開進氣口。2.合上電源
公司名: 上海福豫機械設(shè)備有限公司
聯(lián)系人: 黃先生
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微 信: 17502155678
地 址: 上海金山廊下鎮(zhèn)金廊公路41號10幢224室
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