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【國產(chǎn)真空泵】真空泵散熱油管堵塞疏通及日常維護(hù)方法
真空泵散熱油管堵塞疏通及日常維護(hù)方法:1、找一個干凈的托盤,內(nèi)倒入足夠量的干凈水,添加入洗滌劑(不可使用腐蝕性洗滌劑)。2、將真空泵散熱油管從真空泵中拆卸下來,用風(fēng)槍對準(zhǔn)一頭的管孔,不管能不能吹出臟物,此步可間斷性操作。3、頭幾次會吹出更多的臟物,等吹到?jīng)]有多少東西出來時,將散熱油管置于溶解洗滌劑的托盤內(nèi)浸泡4-6h。4、在浸泡的過程中,可適當(dāng)?shù)陌凑斩氯闆r多次拿出用風(fēng)槍對準(zhǔn)管口吹。5、浸泡完后再
羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
真空泵不能啟動:主要表現(xiàn)為真空泵加電后不能啟動運轉(zhuǎn)。這時應(yīng)首先檢查真空泵的電路部分,如保險管是否燒毀、電路部分有沒有元氣件燒壞。在排除電路部分的故障后,應(yīng)考慮以下兩個因素:?1、電機(jī)燒壞:主要為電機(jī)定子線圈燒毀,引起原因較多,如瞬間電流過大,電機(jī)軸承使用久了被磨損,致使軸承摩擦阻力變大,電機(jī)功率加大,引起溫度上升,燒毀電機(jī)。這時應(yīng)先檢查電機(jī)軸承,再檢查電機(jī)線圈。軸承損壞就更換軸承;電機(jī)線
泵軸軸承位磨損真空泵傳動部位磨損是普遍存在的問題,其中包括軸承位、軸承座、軸承室、鍵槽及螺紋等部位,傳統(tǒng)方法以補焊和刷鍍噴涂為主,但兩者均存在一定弊端:補焊高溫產(chǎn)生的熱應(yīng)力無法完全消除,易造成材質(zhì)損傷,導(dǎo)致部件出現(xiàn)彎曲或斷裂;而電刷鍍受涂層厚度限制,*剝落,且以上兩種方法都是用金屬修復(fù)金屬,無法改變“硬對硬”的配合關(guān)系,在各力綜合作用下,仍會造成再次磨損。當(dāng)代西方國家針對以上問題多使用高分子復(fù)合
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