詞條
詞條說明
真空泵的安裝1、安裝安裝場所寬闊、采光良好,空氣的相對濕度宜低,灰塵少,空氣清凈且通風(fēng)良好。環(huán)境溫度:5—30攝氏度。環(huán)境壓力:大氣壓。預(yù)留保養(yǎng)空間,真空泵與墻之間至少須有1米以上距離,真空泵空間距離應(yīng)有1米以上,預(yù)留通道,以便維修保養(yǎng)。真空泵運(yùn)作時(shí),表面溫度可以達(dá)到72℃以上,小心燙傷。請確保真空泵的安放位置易于看見油位鏡。?2、配管、基礎(chǔ)主管路配管時(shí),管路通徑不能小于真空泵的進(jìn)氣法蘭
真空泵保養(yǎng)操作:維護(hù)時(shí)間表真空泵維護(hù)時(shí)間間隔根據(jù)每個(gè)客戶工作環(huán)境而定。您可以根據(jù)您的實(shí)際使用狀況,縮短維護(hù)時(shí)間間隔,尤其是灰塵大的工作環(huán)境。Ⅰ?每日需要維護(hù)事項(xiàng):檢查油位及油的顏色。Ⅱ?每星期需要維護(hù)事項(xiàng):檢查真空泵是否漏油。Ⅲ?每月需要維護(hù)事項(xiàng):檢查排氣過濾器的功能,必要時(shí)請清洗或換進(jìn)氣過濾器。Ⅳ?每6個(gè)月需要維護(hù)事項(xiàng):檢查真空泵泵腔是否有灰塵、污垢、積碳
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
單級旋片式真空泵-適用范圍1、XD型單級旋片式真空泵適用于密閉系統(tǒng)的抽真空使用。如真空包裝、真空成形、真空吸引。2、入口壓力范圍:100Pa~100000Pa,**出此范圍工作真空泵排氣口將有油霧產(chǎn)生。XD型旋片式真空泵工作環(huán)境溫度和吸入氣體溫度應(yīng)在5℃~40℃之間。3、XD型旋片式真空泵不能抽除水或其它液體。不能抽除易爆、易燃、含氧量過高的、腐蝕性的氣體。3、真空泵葉片碎裂不會產(chǎn)生真空,需換葉片。
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