【國產真空泵廠家】真空泵的維護與保養

時間：2021-11-22作者：上海福豫機械設備有限公司瀏覽：180

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  詞條說明

• 【國產真空泵】羅茨泵的工作原理

  羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真

• 【國產真空泵廠家】真空泵的維護與保養

  真空泵維護與保養：1.泵及其四周環境應經常保持清潔，防止雜物進入泵內。?2.泵的運轉過程中，油箱內的存油量不得**油標中心。?3.不同種類和牌號的真空泵油，不可混合使用。?4.泵在使用中，因系統損壞等特殊事故，進氣口突然暴露大氣時，應盡快停泵，并切斷與系統連接的管道，防止噴油、污染場地。?5.泵由于存放或使用不當，水份或其它揮發性物質進入泵內而影響極限真空時

• 【單級真空泵廠家】旋片式真空泵主要組成

  旋片真空泵主要由泵體、轉子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片真空泵的腔內偏心地安裝一個轉子，轉子外圓與泵腔內表面相切（二者有很小的間隙），轉子槽內裝有帶彈簧的二個旋片。?旋片真空泵的工作原理圖是怎樣的？?旋片真空泵的工作原理：?旋片真空泵主要由泵體、轉子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片真空泵的腔內偏心地安裝一個轉子，轉子外圓與泵腔內表面相切（二者有很小的間隙），轉子槽內

• 【國產真空泵】普旭真空泵使用說明

  ?普旭真空泵使用說明：?????新泵安裝就位后先查看油位，齒輪側油位以油面浸沒3-5齒為宜，電機側以油窗中心略高為宜，軸伸上油杯不應缺油，各部位潤滑油均采用1號真空泵油。?????1、真空泵啟動程序：?????（1）啟動前級泵。?