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影響磁控濺射中靶中毒的因素有哪些?


    廣東振華科技股份有限公司廣東廣州分公司專注于真空鍍膜,真空鍍膜設備,真空鍍膜生產商等

  • 詞條

    詞條說明

  • 影響磁控濺射中靶中毒的因素有哪些?

    一、靶面金屬化合物的形成由金屬靶面通過反應濺射工藝形成化合物的過程中,化合物是在哪里形成的呢?由于活性反應氣體粒子與靶面原子相碰撞產生化學反應生成化合物原子,通常是放熱反應,反應生成熱必須有傳導出去的途徑,否則該化學反應無法繼續進行。在真空條件下氣體之間不可能進行熱傳導,所以化學反應必須在一個固體表面進行。反應濺射生成物在靶表面、基片表面、和其他結構表面進行。在基片表面生成化合物是我們的目的,在其

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  • 真空鍍膜技術及設備

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