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5軸機械手臂能夠在真空環境下對應不同類型設備的多種布局 5軸真空水平多關節型潔凈機械手臂特點: 5軸真空水平多關節型潔凈機械手臂GTVCR5000系列 實現了下降價格,但是也可以維持以前的GTVHR5000系統的機能,功能 能夠在真空環境下對應并排擺放的腔室工作臺布局,能夠靈活地適應不同類型設備的多種布局 通過優化機械手臂的空間尺寸,有利于減小真空腔室的內部容積 非常適合inline設備 機械手臂
晶圓背拋/晶圓拋光GNX200BP 晶圓背拋GNX200BP晶圓拋光Wafer Grinding概要: GNX200BP晶圓研磨機是一款全自動的連續向下進給研磨機。晶圓由機械手通過機器進行處理,并裝載/卸載臂。在最終研磨站之后,使用兩個不同的站進行晶片清潔??ūP轉速,砂輪轉速和砂輪主軸下降速度可以用來控制砂輪的產量,表面光潔度和砂輪壽命。兩點制程量規測量系統控制磨削主軸1和2下的晶片厚度。三點磨削
晶圓減薄貼膜機STK-650 上海衡鵬 晶圓減薄貼膜機是專利設計的柔性滾輪貼膜+彈簧刀系統/適用于4”- 8”晶圓。 晶圓減薄貼膜機STK-650特點: 4”- 8”晶圓適用; 專利設計的滾輪貼膜; 自動膠膜進給及貼膜; 手動晶圓上下料; 自動切割膠膜,省力; 藍膜、UV 膠膜可選; PLC+觸摸屏; 配置光簾保護功能,和緊急停機按鈕; 三色燈塔和蜂鳴器用于操作狀態監控; 晶圓減薄貼膜機性能: 晶
全自動等離子處理系統 全自動等離子處理系統概要: 全自動等離子處理系統是面向工業級客戶使用需求設計的自動化等離子處理設備, 適用于等離子清洗、活化以及等多種應用。 全自動等離子處理系統特點: 引線框架或基板通過傳送系統輸運到腔體中進行處理,整個過程避免了人為接觸 通過PLC與工控機共同控制。確保了系統穩定運行的同時,具備強大工藝程序編輯與工藝數據存儲能力 專業可靠的設計確保系統耐用且易于保養 *需
公司名: 上海衡鵬實業有限公司
聯系人: 陳靜靜
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