納米硅粉體制備半導(dǎo)體硅基負(fù)極材料的儲(chǔ)鋰機(jī)制


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          • 詞條

            詞條說(shuō)明

          • 一文讀懂:氮化硅在半導(dǎo)體領(lǐng)域的重要地位

            氮化硅,這一高性能陶瓷材料,在半導(dǎo)體領(lǐng)域扮演著舉足輕重的角色,其*特性質(zhì)使其成為現(xiàn)代半導(dǎo)體工藝中不可或缺的一部分。氮化硅以其高硬度、高耐磨性、優(yōu)異的化學(xué)穩(wěn)定性以及良好的熱導(dǎo)率而著稱,這些特性共同奠定了其在半導(dǎo)體制造中的基礎(chǔ)地位。在半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)過(guò)程中,氮化硅被廣泛應(yīng)用于擴(kuò)散掩蔽層、刻蝕停止層以及鈍化層等多個(gè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)。作為擴(kuò)散掩蔽層,氮化硅能夠有效阻止雜質(zhì)原子的不必要擴(kuò)散,確保芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu)的精確控

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