20年 spellman電源高壓發生器維修 XRV225N4000

時間：2025-05-30

作者：北京天浦正達電子科技有限公司

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20年 AXCELIS GSD200離子注入機loadlock控制器電路板維修離子注入機由離子源、離子引入和質量分析器、加速管、掃描系統和工藝腔組成，可以根據實際需要省去次要部位。離子源是離子注入機的主要部位，作用是把需要注入的元素氣態粒子電離成離子，決定要注入離子的種類和束流強度。離子源直流放電或高頻放電產生的電子作為轟擊粒子，當外來電子**原子的電離電位時，通過碰撞使元素發生電離。碰撞后除了原
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