濺射靶材應(yīng)該如何保養(yǎng)

時(shí)間：2020-05-27作者：昆山世高新材料科技有限公司瀏覽：273

昆山世高新材料科技有限公司專注于靶材,真空鍍膜,濺射靶材,金屬材料,平面靶材,旋轉(zhuǎn)靶,噴涂靶等

• 詞條

  詞條說(shuō)明

• ITO靶材技術(shù)及未來(lái)前景

  據(jù)立木信息咨詢發(fā)布的《中國(guó)ITO靶材市場(chǎng)研究與投資前景報(bào)告（2015版）》顯示：ITO（氧化銦錫）靶材是電子信息領(lǐng)域的**關(guān)鍵材料之一，主要用于制造平板液晶顯示器、觸摸屏、薄膜晶體管、太陽(yáng)能電池透明電極以及多功能玻璃等。? ITO靶材技術(shù)一直掌握在日本、韓國(guó)等少數(shù)企業(yè)手中，而中國(guó)企業(yè)在自主技術(shù)的研發(fā)上卻一直進(jìn)展緩慢。 目前中國(guó)生產(chǎn)的ITO靶材主要供應(yīng)低端市場(chǎng)；而**TFT-LCD、觸摸屏

• 濺射靶材應(yīng)該如何保養(yǎng)

  靶材應(yīng)該如何保養(yǎng)??一、靶材保養(yǎng)為避免在濺射過(guò)程中因?yàn)椴粷崈舻那惑w導(dǎo)致短路和起弧，有必要階段性的除去濺射軌道中間及兩側(cè)堆積的濺射物，這也有助于用戶可以連續(xù)以最大功率密度進(jìn)行濺射。?二、靶材儲(chǔ)存我們建議用戶將靶材無(wú)論是金屬或陶瓷類保存在真空包裝中, 尤其是貼合靶材較需要保存在真空條件下，以避免貼合層氧化影響貼合質(zhì)量。對(duì)于金屬靶材的包裝，我們建議較少需要包裝在潔凈的塑料袋中。三、靶

• 真空鍍膜過(guò)程的均勻性到底多重要？

  真空鍍膜過(guò)程非常復(fù)雜，由于鍍膜原理的不同分為很多種類，僅僅因?yàn)槎夹枰哒婵斩榷鴵碛薪y(tǒng)名稱。所以對(duì)于不同原理的真空鍍膜，影響均勻性的因素也不盡相同。并且均勻性這個(gè)概念本身也會(huì)隨著鍍膜尺度和薄膜成分而有著不同的意義。薄膜均勻性的概念：1.厚度上的均勻性，也可以理解為粗糙度，在光學(xué)薄膜的尺度上看(也就是1/10波長(zhǎng)作為單位，約為100A)，真空鍍膜的均勻性已經(jīng)相當(dāng)好，可以輕松將粗糙度控制在可見(jiàn)光波長(zhǎng)的1

• 平面ITO靶材

  ??平面ITO靶材準(zhǔn)備中的ITO靶材準(zhǔn)備中的銅水路背板綁定完成的ITO成品靶材使用完的ITO靶ITO屬于貴重的陶瓷靶材，質(zhì)地脆，易碎，綁定過(guò)程中操作要小心，尤其要控制其加溫和冷卻溫度速率。