氣體質量流量控制器的自我診斷技術

時間：2023-10-07作者：鄭州科探儀器設備有限公司瀏覽：82

鄭州科探儀器設備有限公司專注于真空探針臺,小型離子蒸鍍儀,小型離子濺射儀等

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  詞條說明

• PVD制備K型薄膜熱電偶的研究

  熱電偶元件是在工業、科研中廣泛使用的一種溫度傳感器,具有測溫范圍廣,堅固耐用,無自發熱現象,使用方便等優點。薄膜熱電偶除了繼承上述普通熱電偶的優點外,還具有熱容小,響應速度快,幾乎不占用空間,對被測物體影響小的優點。本研究為制備K型薄膜熱電偶選擇了電子束蒸發鍍,磁控濺射,多弧離子鍍三種PVD方法。其中一部分樣片的NiCr/NiSi薄膜均由磁控濺射均由磁控濺射沉積,另一部分樣片的NiCr薄膜由磁控濺

• 小型濺射儀問題解答

  小型濺射儀儀問儀答較近小伙伴對于濺射儀使用和技術參數問的問題比較多，今天總結一下濺射儀的一些常見的技術問題：1、膜厚檢測儀原理：膜厚監測儀是采用石英晶體振蕩原理，利用頻率測量技術加上先進的數學算法，進行膜厚的在線鍍膜速率和實時厚度計算。主要應用于MBE、OLED或金屬熱蒸發、磁控濺射設備的薄膜制備過程中，對膜層厚度及鍍膜速率進行實時監測。2、濺射儀是否可以鍍鎳：可以鍍鎳 ?但是 鎳是導磁

• 快速退火爐系統設計與實現

  快速退火爐是現代大規模集成電路生產工藝過程中的關鍵裝備? ? ?主要用于離子注入后雜質的、淺結制作、生長高質量的氧化膜層和金屬硅化物合金形成等工藝。隨著集成電路工藝技術的飛速發展,開展快速退火爐系統的技術研究,對國內開發和研究具有自主知識產權的快速退火爐裝備,有著十分重要的理論意義和工程應用價值。? ? ? 本文針對現代半導體器件退火工藝

• 小型濺射儀鍍膜后掃描電鏡紡織纖維中的應用

  纖維（Fiber）是由連續或不連續的細絲組成的物質，可分為**纖維和化學纖維。這兩大類纖維被廣泛應用于紡織[1]、環保[3]、生物醫療[4]等多個領域。由于纖維材料的表面物理形態和化學結構是決定材料性能的主要因素，通常需要利用相關的顯微設備去觀察纖維表面的微觀形貌等信息，從而去判斷纖維材料的基本性能。掃描電子顯微鏡作為一種常規的微觀表征設備，其具有放大倍數大、分辨、景深大、圖像清晰、立體感強等優點