詞條
詞條說明
快速退火爐是現代大規模集成電路生產工藝過程中的關鍵裝備? ? ?主要用于離子注入后雜質的、淺結制作、生長高質量的氧化膜層和金屬硅化物合金形成等工藝。隨著集成電路工藝技術的飛速發展,開展快速退火爐系統的技術研究,對國內開發和研究具有自主知識產權的快速退火爐裝備,有著十分重要的理論意義和工程應用**。? ? ? 本文針對現代半導體器件退火工藝
?針對光學和介電功能薄膜制備中的離化率低和靶面污染問題,設計了一種磁控濺射沉積系統,系統包括磁控濺射靶裝置、等離子體源和陽極清洗裝置。主要結論有:(1)在磁控濺射靶裝置設計中,采用磁流體密封替代橡膠軸承密封,提高了靶裝置的密封性,極限真空度可達10-6 Pa;采用旋轉磁鋼代替固定磁鋼,使靶材的利用率從30%提高到60%,同時避免了靶裝置在預先清洗時的污染;設計了靶裝置的驅動端,完成了電機
塞貝克系數(Seebeck Coefficient)也稱為熱電偶效應或Seebeck效應,是指兩種不同導體(或半導體)材料在一定溫差下產生熱電動勢的現象。塞貝克系數是研究熱電材料(將熱能轉化為電能的材料)非常重要的一個參數,它用來衡量材料在一定溫差下產生的熱電壓。?塞貝克系數的測量方法有很多種,其中一種常用的方法是恒流法。準備一個熱電偶,它由兩種不同材料的導線組成。然后將熱電偶的其中一個
怎么判斷哪些東西可以封?1,高溫不熔化。2、高溫下不與石英管產生反應。3、液體沒辦法抽真空,液體里又氧氣。對封管機 場地的要求?氫氧水焊機需要通風。石英管封口要預留多長?要留50mm-70mm(石英管內如果是熔點低物品,少70),夾頭伸進去要30mm。封管機產品優勢:1、 每個設備出廠有經過氦質譜撿漏測試確保氣密性?2、 設備磁流體密封件接觸氣體部分采用陶瓷軸承 高成本帶來的是耐腐蝕(普
公司名: 鄭州科探儀器設備有限公司
聯系人: 裴先生
電 話:
手 機: 15136134901
微 信: 15136134901
地 址: 河南鄭州中原區鄭州**產業開發區西三環路289號6幢11單元3層73號
郵 編:
網 址: zzketan.b2b168.com
公司名: 鄭州科探儀器設備有限公司
聯系人: 裴先生
手 機: 15136134901
電 話:
地 址: 河南鄭州中原區鄭州**產業開發區西三環路289號6幢11單元3層73號
郵 編:
網 址: zzketan.b2b168.com