詞條
詞條說明
真空泵的使用范圍適用于密閉系統(tǒng)的抽真空使用。如真空包裝、真空成形、真空吸引。入口壓力范圍:100Pa~100000?Pa,**出此范圍工作真空泵排氣口將有油霧產(chǎn)生。XD型旋片式真空泵工作環(huán)境溫度和吸入氣體溫度應(yīng)在5℃~40℃之間。XD型旋片式真空泵不能抽除水或其它液體。不能抽除易爆、易燃、含氧量過高的、腐蝕性的氣體。一般供應(yīng)的電動機不防爆,如要求防爆或其它特殊要求時電動機必須符合相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)
旋片式真空泵常見故障如下:1.泵不轉(zhuǎn)。情況不明不能先開泵,以免加重故障。用手能盤動和不能盤動。2.泵溫太高。指低級排氣閥附近測得的較高油溫**過使用說明書值。由于泵溫升高會使泵油粘度大幅下降,并使泵油的飽和蒸汽壓升高,使泵的極限壓力升高和抽氣效率下降;使橡膠件*老化;熱膨脹使運轉(zhuǎn)間隙縮小,特別是某些非金屬旋片的厚度方向和銅套內(nèi)孔間隙,影響泵運轉(zhuǎn)的可靠性。泵溫太高的原因可以是泵溫度太高,進氣溫度太高
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
普旭真空泵安裝?? ? (1)真空泵應(yīng)安裝在干燥、通風(fēng)良好和清潔的場所。?? ? (2)真空泵的環(huán)境溫度為5-40℃。?? ? (3)真空泵應(yīng)水平安裝,其周圍應(yīng)留有充分的余地,便于日常檢查、維護保養(yǎng)。裝拆方便。?? ? (4)接通電源后,電機轉(zhuǎn)向應(yīng)符合泵上轉(zhuǎn)向箭頭所示。 
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