詞條
詞條說(shuō)明
羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱(chēng)之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
XD系列真空泵安裝方法:?(1)安裝?泵應(yīng)水平安放。由于泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)幾乎沒(méi)有振動(dòng)一般可不固定,泵底部減震墊塊上有公制螺孔用以固定泵。不要在地面上推拉泵,以免損壞減震墊塊。?為保證泵得到良好的冷卻和便于維修,建議在泵進(jìn)氣口和排氣口前留有0.4m的空隙。為方便放油可安裝帶放油盤(pán)的底座。?發(fā)運(yùn)的泵不帶油。安裝后,通過(guò)加油口緩慢注入所規(guī)定的真空泵油(見(jiàn)保養(yǎng)、維修1)到油
【真空包裝機(jī)真空泵廠(chǎng)家】真空泵的維護(hù)與保養(yǎng)
維護(hù)與保養(yǎng)1、潤(rùn)滑油的規(guī)范及換油步驟潤(rùn)滑油主要有三個(gè)作用:潤(rùn)滑、密封、冷卻。潤(rùn)滑作用:潤(rùn)滑油可以在泵蓋、轉(zhuǎn)子、葉片、泵體之間形成油膜,避免了相互間的直接接觸,減少摩擦。密封作用:潤(rùn)滑油產(chǎn)生的油膜能對(duì)真空泵起到密封作用,提高了真空泵的效率。冷卻作用:潤(rùn)滑油吸收了大量的圧縮熱,使壓縮過(guò)程接近于等溫壓縮,降低了真空泵的功率。另外:潤(rùn)滑油還能降低高頻壓縮所產(chǎn)生的噪音。?2、日常保養(yǎng)每日或每次運(yùn)轉(zhuǎn)
旋片式真空泵的介紹旋片真空泵是以泵為主泵,以旋片真空泵為前級(jí)泵的串聯(lián)而成的。旋片真空泵選用的旋片泵作為前級(jí)泵,因此它克服了旋片真空泵在使用時(shí)一定壓力下的抽氣速率低的缺點(diǎn),并且同時(shí)保留了羅茨泵能迅速的工作,優(yōu)點(diǎn)有比較大抽氣速率等。因?yàn)樾婵毡玫慕Y(jié)構(gòu)緊湊、占地面積小,所以可以替代多臺(tái)機(jī)械式真空泵,因此旋片真空泵機(jī)組廣泛地用于在真空冶煉、電力電容器、變壓器真空熱處理、真空鍍膜設(shè)備的預(yù)抽,電真空半導(dǎo)體等
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