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詞條說明
直線電機(jī)模組主要是由動(dòng)子 定子 滑蓋 導(dǎo)軌 光柵傳感器組成。直線電機(jī)的結(jié)構(gòu)可以看作是將一臺(tái)旋轉(zhuǎn)電機(jī)沿徑向剖開,并將電機(jī)的圓周展開成直線而形成的。其中定子相當(dāng)于直線電機(jī)的初級(jí),轉(zhuǎn)子相當(dāng)于直線電機(jī)的次級(jí),當(dāng)初級(jí)通入電流后,在初次級(jí)之間的氣隙中產(chǎn)生行波磁場(chǎng),在行波磁場(chǎng)與次級(jí)永磁體的作用下產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)力,從而實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)部件的直線運(yùn)動(dòng)。 高速響應(yīng)是由于系統(tǒng)中直接取消了一些響應(yīng)時(shí)間常數(shù)較大的如絲杠等機(jī)械傳動(dòng)件,使整
PBA氣浮平臺(tái)工作原理及應(yīng)用場(chǎng)景
PBA大理石氣浮平臺(tái)基于空氣軸承的基本原理,實(shí)現(xiàn)無摩擦和無振動(dòng)的平滑移動(dòng).花崗巖平臺(tái)它具有運(yùn)動(dòng)精度高、清潔無污染等特點(diǎn)。同時(shí)還具有誤差均化作用,因而可用比較低的制造精度來獲得較高的導(dǎo)向精度。 花崗石氣浮導(dǎo)軌在測(cè)量?jī)x器、花崗巖平臺(tái)精密機(jī)械中得到了廣泛的應(yīng)用。氣浮導(dǎo)軌在體潤(rùn)滑分析的表現(xiàn)上看,直線氣浮導(dǎo)軌的承載能力、氣體流量均有常規(guī)表現(xiàn),特別是關(guān)鍵的性能指標(biāo)--位移精度上,相對(duì)于傳統(tǒng)導(dǎo)軌有著成數(shù)量級(jí)的比
PBA直驅(qū)電機(jī)在高速晶圓檢測(cè)中的應(yīng)用
半導(dǎo)體測(cè)試貫穿設(shè)計(jì)、制造、封裝、應(yīng)用全過程。從較初形成滿足特定功能需求的芯片設(shè)計(jì),經(jīng)過晶圓制造、封裝環(huán)節(jié),在較終形成合格產(chǎn)品前,需要檢測(cè)產(chǎn)品是否符合各種規(guī)范。按生產(chǎn)流程分類。半導(dǎo)體測(cè)試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類:驗(yàn)證測(cè)試、晶圓測(cè)試測(cè)試、封裝檢測(cè)。(1)?驗(yàn)證測(cè)試:又稱實(shí)驗(yàn)室測(cè)試或特性測(cè)試,是在器件進(jìn)入量產(chǎn)之前驗(yàn)證設(shè)計(jì)是否正確,需要進(jìn)行功能測(cè)試和全面的AC/DC。(2)晶圓測(cè)試:每一塊加加
直線電機(jī)對(duì)外輸出的量主要是推力,這也是直線電機(jī)和旋轉(zhuǎn)電機(jī)的重要的不同點(diǎn)之一。推力對(duì)于直線電機(jī)的重要性可以與力矩對(duì)旋轉(zhuǎn)電機(jī)的重要性相媲美。由于直線電機(jī)的理論、設(shè)計(jì)、制造和負(fù)載及干擾等諸多方面的原因,直線電機(jī)必然存在推力波動(dòng)。推力波動(dòng)能夠反映直線電機(jī)的運(yùn)行是否平穩(wěn),因此,推力波動(dòng)是直線電機(jī)檢測(cè)的關(guān)鍵指標(biāo)參數(shù)。一種波動(dòng)測(cè)試解決的方案是在同一導(dǎo)軌上采用兩個(gè)同型號(hào)直線電機(jī)互為負(fù)載,通過對(duì)合適條件下所采集的推
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