你并不了解小型濺射儀


            鄭州科探儀器設(shè)備有限公司專(zhuān)注于真空探針臺(tái),小型離子蒸鍍儀,小型離子濺射儀等

          • 詞條

            詞條說(shuō)明

          • 氣體質(zhì)量流量控制器的自我診斷技術(shù)

            1. 自我診斷技術(shù)自我診斷技術(shù)是在不停機(jī)或基本不拆機(jī)的情況下,通過(guò)各種檢測(cè)分析來(lái)判斷設(shè)備狀態(tài)是否正常,異?;蚬收系脑?、部位、程度以及壽命的預(yù)測(cè)。自我診斷技術(shù)的主要作用是獲得設(shè)備的結(jié)果狀態(tài)信息,即根據(jù)設(shè)備在各種工況下,表現(xiàn)出來(lái)的精度**差,零點(diǎn)漂移,內(nèi)漏等所有狀態(tài)信息的綜合分析來(lái)識(shí)別產(chǎn)品的狀態(tài)、異常類(lèi)型和異常的嚴(yán)重程度,其本質(zhì)是一個(gè)包含信號(hào)、信息提取、信息綜合、故障識(shí)別和信息利用的過(guò)程。自我診斷的目

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          • 你并不了解小型濺射儀

            小型濺射儀的工作原理是指電子在電場(chǎng)E的作用下,在飛向基片過(guò)程中與氬原子發(fā)生碰撞,使其電離產(chǎn)生出Ar正離子和新的電子;新電子飛向基片,Ar離子在電場(chǎng)作用下加速飛向陰靶,并以高能量轟擊靶表面,使靶材發(fā)生濺射。在濺射粒子中,中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜,而產(chǎn)生的二次電子會(huì)受到電場(chǎng)和磁場(chǎng)作用,產(chǎn)生E(電場(chǎng))×B(磁場(chǎng))所指的方向漂移,簡(jiǎn)稱(chēng)E×B漂移,其運(yùn)動(dòng)軌跡近似一條擺線(xiàn)。若為環(huán)形磁場(chǎng),則電子就

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