【油擴散泵抽利】油擴散泵的原理

時間：2021-06-10

作者：深圳市彩之佳塑膠原材料有限公司

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詞條
詞條說明
【油擴散泵抽利】油擴散泵的主要問題
油擴散泵的主要問題油擴散泵真空系統的污染物來源：(1)擴散泵油蒸汽的返流。這是較重大的污染源。(2)系統中的零部件，在裝配時用有油的手拿。用有油污的手套拿，這樣粘染的**分子可以造成系統內的污染。(3)前級油封機械泵油的返流。這個問題也很嚴重，當入口壓力較高時，在達到過渡區(1～10-1Pa)壓力時，機械泵的油蒸汽即可直接進入擴散泵內，對系統直接進行污染。很多真空工藝過程的污染來自機械泵返油。當停
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