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太陽能電池擴散工藝及其設備 太陽能電池擴散工藝及其設備 ????技術方案是:一種太陽能電池擴散工藝,在太陽能電池擴散工藝中通控制抽氣排風壓力,使抽氣排風壓力這個參數保持穩定,抽氣排風壓力這個參數保持穩定,抽氣排風壓力的穩定導致辭磷在硅片中的注入濃度穩定,使加工后得到的硅片的方塊電池保持穩定,在后道的燒結中可以匹配出高效的太陽能電池。抽氣排風壓力通過在機臺排
?單管氧化爐技術方案 ? ????????????? (單管程序氧化爐) ? ?????????????&n
? 等離子增強化學氣相淀積系統(PECVD) PECVD(等離子增強化學氣相淀積)設備是一種用于在基片上生成高質量SiNx和SiO2薄膜的**設備。淀積溫度范圍寬( 100~600oC可調),特別適用于半導體器件和集成電路的鈍化,用以提高器件和集成電路可靠性。目前,它已成為微電子和光電子領域科研和生產不可缺少的設備。 產品特點: 1、膜質量高。它不同于通常使用的翻蓋式單室機(易漏大氣而
鏈帶式焊接爐技術方案 鏈帶式焊接爐主要應用于半導體器件,金屬陶瓷,可控硅器件,玻璃封裝器件以及各種厚膜電路等焊接和燒結的連續工作的隧道式結構熱處理爐。 一、主要技術指標 1、設計溫度:≤700℃ 2、工作溫度:300℃~600℃ 3、爐內控溫:±5℃ 4、儀表控制精度:±1℃ 5、設備總長度:約10600mm;進出口臺面各為:800mm。 6、加熱區長度:≤3000mm(6段加熱) 7、冷卻區長
公司名: 青島福潤德微電子設備有限公司
聯系人: 顏
電 話: 0532-68017157
手 機: 13658669338
微 信: 13658669338
地 址: 山東青島城陽區青島市城陽區北萬工業園
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