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集成電路自動化裝備-探針臺是晶圓測試領域研究的熱點。由于晶圓片上晶粒很小,達到微米級,所以要求探針臺要保持很高的定位精度和運動精度才能保證探針與晶粒的準確對針和測試。因此,本文主要研究的問題是如何保證探針臺高精密控制,從而達到微米級定位要求。? ? ? ?本文來自于國家02專項-面向12”晶圓片的全自動探針臺關鍵技術研究。首先,本文介紹了探針臺兩大部分-LO
?? ? ? ? ? ? ?鄭科探小型濺射儀功能優勢1、樣品臺旋轉,多樣品同時鍍膜時,鍍膜厚度比較均勻。2、預濺射擋板功能,剛開始鍍膜的時候腔室里會有些雜質,擋板可以保護樣品,提高薄膜質量3、帶有水冷系統,可以長時間濺射鍍膜,厚度可達1微米以上。4、直流磁控濺射,提高附著力,濺射速率快,比離子濺射快上一個量級。針對某些
小型濺射儀的工作原理是指電子在電場E的作用下,在飛向基片過程中與氬原子發生碰撞,使其電離產生出Ar正離子和新的電子;新電子飛向基片,Ar離子在電場作用下加速飛向陰靶,并以高能量轟擊靶表面,使靶材發生濺射。在濺射粒子中,中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜,而產生的二次電子會受到電場和磁場作用,產生E(電場)×B(磁場)所指的方向漂移,簡稱E×B漂移,其運動軌跡近似一條擺線。若為環形磁場,則電子就
塞貝克系數(Seebeck Coefficient)也稱為熱電偶效應或Seebeck效應,是指兩種不同導體(或半導體)材料在一定溫差下產生熱電動勢的現象。塞貝克系數是研究熱電材料(將熱能轉化為電能的材料)非常重要的一個參數,它用來衡量材料在一定溫差下產生的熱電壓。?塞貝克系數的測量方法有很多種,其中一種常用的方法是恒流法。準備一個熱電偶,它由兩種不同材料的導線組成。然后將熱電偶的其中一個
公司名: 鄭州科探儀器設備有限公司
聯系人: 裴先生
電 話:
手 機: 15136134901
微 信: 15136134901
地 址: 河南鄭州中原區鄭州**產業開發區西三環路289號6幢11單元3層73號
郵 編:
網 址: zzketan.b2b168.com
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