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詞條說明
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
【普旭真空泵故障】排除方法? 1、 故障現(xiàn)象:泵的抽氣量不夠??產(chǎn)生原因;?(1)真空泵的轉(zhuǎn)速不夠;(2)密封不嚴(yán),在進(jìn)氣管路的連接處或軸封處漏氣;(3)泵的轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子、轉(zhuǎn)子外圓與泵殼,轉(zhuǎn)子端面與端蓋周的間隙過大,氣體返流量增大;(4)環(huán)境溫度或冷卻水的溫度過高。普旭真空泵排除方法:?(1)如泵的轉(zhuǎn)速不夠,且抽氣量是與泵的轉(zhuǎn)速成正比,則泵的抽氣量就
真空泵的安裝1、安裝安裝場(chǎng)所寬闊、采光良好,空氣的相對(duì)濕度宜低,灰塵少,空氣清凈且通風(fēng)良好。環(huán)境溫度:5—30攝氏度。環(huán)境壓力:大氣壓。預(yù)留保養(yǎng)空間,真空泵與墻之間至少須有1米以上距離,真空泵*空間距離應(yīng)有1米以上,預(yù)留通道,以便維修保養(yǎng)。真空泵運(yùn)作時(shí),表面溫度可以達(dá)到72℃以上,小心燙傷。請(qǐng)確保真空泵的安放位置易于看見油位鏡。?2、配管、基礎(chǔ)主管路配管時(shí),管路通徑不能小于真空泵的進(jìn)氣
眾德真空泵保養(yǎng)1.檢查真空泵管路及結(jié)合處有無松動(dòng)現(xiàn)象。用手轉(zhuǎn)動(dòng)真空泵,試看真空泵是否靈活。2.向軸承體內(nèi)加入軸承潤滑機(jī)油,觀察油位應(yīng)在油標(biāo)的中心線處,潤滑油應(yīng)及時(shí)換或補(bǔ)充。3.擰下真空泵泵體的引水螺塞,灌注引水或引漿。4.關(guān)好出水管路的閘閥和出口壓力表及進(jìn)口真空表。5.點(diǎn)動(dòng)電機(jī),試看電機(jī)轉(zhuǎn)向是否正確。6.開動(dòng)電機(jī),當(dāng)真空泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)后,打開出口壓力表和進(jìn)口真空泵,視其顯示出適當(dāng)壓力后,逐漸打開閘閥,
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