半自動LED_UV照射機STK-1020 衡鵬瑞和

時間：2021-04-14作者：深圳市衡鵬瑞和科技有限公司瀏覽：47

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  okamoto代理商_GNX200BP晶圓減薄 okamoto代理商_GNX200BP是一款持續向下進給式減薄設備，采用機械臂傳送硅片，減薄完成后，有兩個獨立的清洗腔，清洗效果較佳。工作盤轉速、主軸轉速、主軸下壓速度都可調，有助于平衡產量、減薄品質、磨輪壽命。采用兩點式實時測厚儀測量主軸1和主軸2下的硅片厚度，采用3點測控主軸角度調整機構來控制加工的平整度(TTV)。減薄工序完成后，硅片即會被自動

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