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詞條說明
高精度和高分辨率的氣浮平臺系統(tǒng)在近代工業(yè)生產和科學研究領域內占有為重要的地位。它直接影響精密、精密切削加工水平、精密測量水平及大規(guī)模集成電路生產水平。它的各項技術指標是各國高技術發(fā)展水平的重要標志。氣浮平臺系統(tǒng)的定位精度和行程范圍直接影響到生產加工的精度和加工能力。同時工作臺的速度、加速度及啟停過程的穩(wěn)定時間則影響到設備的效率,成為系統(tǒng)的重要指標。由于精密及精密氣浮平臺的定位精度和分辨率多
在常見的工業(yè)設備中,經常性會看到一些高精密設備,其中出現(xiàn)幾率比較高的,就是氣浮直線臺,但是在使用的過程中它到底有著什么樣的特點呢?大部分的人可能都不會特別了解,首先我們了解的氣浮直線臺的直線度和平面度在亞微米級別,因為氣浮導軌在使用過程中實現(xiàn)的無摩擦運動,具有清潔無污染,免維護,運動精度高的特點。那為什么氣浮直線臺的直線度和平面度比機械線軌的精度高?其實我們可以猜測到,2種產品的導軌是不同的,機械
由于氣浮導軌具有高精度、低阻尼、低摩擦、無污染等優(yōu)點;同時,直線電機具有無接觸、速度快、精度高、噪聲低等特點,在運動系統(tǒng)中能夠直接產生直線運動,避免了滾珠絲杠、螺母等中間傳動機構,實現(xiàn)了直接驅動。因此,直線電機和氣浮導軌的結合,能夠充分發(fā)揮各自的特點,適合應用于精密運動平臺的 設計之中。但由于直線電機驅動的高速精密氣浮平臺加速度變化的不連續(xù)性以及缺少中間彈性阻尼環(huán)節(jié),抗干擾能力較差,易產生調和振
氣浮運動臺,隨著半導體進入到快速發(fā)展的階段,相應的加工檢測設備也會逐漸的提高性能,所以有許多的公司都會用到氣浮運動臺,這是一款高精度的設備,主要作用于半導體加工、檢測,微納加工,測試測量等,但是它到底有哪些主要的優(yōu)勢。1.? ?直線度和平面度高2.? ?定位精度和重復定位高3.? ?速度穩(wěn)定性高4.? ?偏擺、俯仰、滾
公司名: 北京瑞邦精控科技有限公司
聯(lián)系人: 王欣悅
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地 址: 北京順義馬坡北京市順義區(qū)聚源中路10號院1號樓1至4層101內1層101室
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